延时大于9000us可能是刚性过低，超高的延时一般不利于实现好的插补控制，建议通过提高伺服刚性来降低延时，更改刚性参数可直接从工具-高级工具-新电机调试工具中更改，也可用伺服上位机软件直接更改，更改后再做一次延时测定，保证所有轴的延时都小于9000us，调试完成后返回上一步根据延时结果进行二次选择。